ГОСТ Р 8.635-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки

ГОСТ Р 8.635-2007

Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки

Обозначение:ГОСТ Р 8.635-2007
Статус документа:действующий
Название рус.:Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки
Название англ.:State system for ensuring the unifоrmity of measuremеnts. Atomic-forсe scanning probe microscopes. Method for calibration
Дата издания:16.01.2008
Дата введения:31.07.2008
Дата последнего изменения:16.01.2015
Область применения:Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629
ГОСТ Р 8.635-2007ГОСТ Р 8.635-2007ГОСТ Р 8.635-2007ГОСТ Р 8.635-2007ГОСТ Р 8.635-2007ГОСТ Р 8.635-2007ГОСТ Р 8.635-2007ГОСТ Р 8.635-2007ГОСТ Р 8.635-2007ГОСТ Р 8.635-2007ГОСТ Р 8.635-2007