ГОСТ Р 8.640-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

ГОСТ Р 8.640-2008

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Обозначение:ГОСТ Р 8.640-2008
Статус документа:действующий
Название рус.:Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Название англ.:State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
Дата издания:15.05.2008
Дата введения:01.01.2009
Дата последнего изменения:16.01.2015
Область применения:Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008