ГОСТ Р 8.627-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений

ГОСТ Р 8.627-2007

Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений

Обозначение:ГОСТ Р 8.627-2007
Статус документа:действующий
Название рус.:Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений
Название англ.:State system for еnsuring the uniformity of measurements. Measurements of coefficients of regular and diffuse transmittance of ultraviolet radiation. Methods for measurements
Дата издания:24.04.2007
Дата введения:30.06.2007
Дата последнего изменения:16.01.2015
Область применения:Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике
ГОСТ Р 8.627-2007ГОСТ Р 8.627-2007ГОСТ Р 8.627-2007ГОСТ Р 8.627-2007ГОСТ Р 8.627-2007ГОСТ Р 8.627-2007ГОСТ Р 8.627-2007ГОСТ Р 8.627-2007